МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ Вакуумная технология. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ. ИЗМЕРЕНИЕ РАБОЧИХ ХАРАКТЕРИСТИК ГОСТ 33518-2015 (ISO 5302:2003)

Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены в ГОСТ 1.0-92 "Межгосударственная система стандартизации. Основные положения" и ГОСТ 1.2-2009 "Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, применения, обновления и отмены"

1 ПОДГОТОВЛЕН Открытым акционерным обществом "Вакууммаш" (ОАО "Вакууммаш") на основе собственного перевода на русский язык англоязычной версии стандарта, указанного в пункте 4

2 ВНЕСЕН Межгосударственным техническим комитетом по стандартизации МТК 249 "Вакуумная техника"

3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол от 29 сентября 2015 г. N 80-П)

За принятие стандарта проголосовали:

	
		
		
		
	
	

		

			

			


			 
			
			

			


			 
			
			

			


			 
			
		
	
	

		

			

			
Краткое наименование страны

			

			по МК (ИСО 3166) 004-97
			
			

			
Код страны

			

			по МК (ИСО 3166) 004-97
			
			

			
Сокращенное наименование национального органа по стандартизации
			
		
	
	

		

			

			
Азербайджан
			
			

			
AZ
			
			

			
Азстандарт
			
		
		

			

			
Армения
			
			

			
AM
			
			

			
Минэкономики Республики Армения
			
		
		

			

			
Беларусь
			
			

			
BY
			
			

			
Госстандарт Республики Беларусь
			
		
		

			

			
Казахстан
			
			

			
KZ
			
			

			
Госстандарт Республики Казахстан
			
		
		

			

			
Киргизия
			
			

			
KG
			
			

			
Кыргызстандарт
			
		
		

			

			
Россия
			
			

			
RU
			
			

			
Росстандарт
			
		
		

			

			
Таджикистан
			
			

			
TJ
			
			

			
Таджикстандарт
			
		
		

			

			
Украина
			
			

			
UA
			
			

			
Минэкономразвития Украины
			
		
	

  (Поправка. ИУС N 3-2022).

4 Настоящий стандарт является модифицированным по отношению к международному стандарту ISO 5302:2003* "Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение рабочих характеристик" ("Vacuum technology - Turbomolecular pumps - Measurement of performance characteristics", MOD). При этом потребности национальных экономик стран, указанных выше, и особенности межгосударственной стандартизации учтены в дополнительном разделе 8, который выделен курсивом.

* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей.

** В бумажном оригинале обозначения и номера стандартов и нормативных документов в разделах "Предисловие", "Библиография" приводятся обычным шрифтом, остальные по тексту документа выделены курсивом. - Примечания изготовителя базы данных.

Международный стандарт разработан техническим комитетом по стандартизации ISO/TC 112 "Вакуумная техника" международной организации по стандартизации (ISO).

Сравнение структуры настоящего стандарта со структурой указанного международного стандарта приведено в дополнительном приложении ДА.

5 Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 20 мая 2016 г. N 367-ст межгосударственный стандарт ГОСТ 33518-2015 (ISO 5302:2003) введен в действие в качестве национального стандарта Российской Федерации с 1 января 2017 г.

6 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты" (по состоянию на 1 января текущего года). В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)  

ВНЕСЕНА поправка, опубликованная в ИУС N 3, 2022 год, введенная в действие с 12.10.2021

Поправка внесена изготовителем базы данных

Настоящий стандарт определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных насосов. Он применяется для всех типоразмеров турбомолекулярных насосов с механическими или магнитными подшипниками; и с или без дополнительной молекулярной ступени.

Примечание - Для работы турбомолекулярных насосов требуются форвакуумные насосы, их рабочие характеристики невозможно окончательно определить без следующих значений характеристик, дополнительно к кривой быстроты действия относительно впускного давления:

- кривой производительности;

- кривой степени сжатия;

- кривой изменения давления на входе для всего диапазона и для различных газов.

В настоящем стандарте применена нормативная ссылка на следующий межгосударственный стандарт*:

 ________________

* Таблицу соответствия национальных стандартов международным см. по ссылке. - Примечание изготовителя базы данных.

ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения  

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов на территории государства по соответствующему указателю стандартов, составленному по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 5197, а также следующие термины с соответствующими определениями:

  3.1 наибольшее выпускное давление p     (critical backing pressure): Максимальное выпускное давление p    , при котором насос имеет степень сжатия p    /p      2 и при котором идет истечение потока газа (выхлоп).

  Примечание - p     - высоковакуумное давление на входе насоса - впускное давление.

3.2 максимальная производительность Q   , Па·м  /с [мбар·л/с] (maximum throughput): Максимальный поток газа, который может откачиваться бесперебойно.

  Примечание - Предельные параметры зависят от конструкции насоса. В большинстве случаев они указываются как максимальная температура на определенном участке. Значение Q     зависит от откачиваемого газа, используемого форвакуумного насоса, условий охлаждения и т.д.

  3.3 быстрота действия q     (volume flow rate): Скорость объемного потока, то есть скорость изменения объема газа в единицу времени.

Примечания

1 На практике быстрота действия данного насоса для данного газа условно принимается равной отношению производительности насоса для данного газа к равновесному давлению в определенном месте. Единицы измерения, принятые для быстроты действия (м  /ч) или (л/с).

2 Вместо "быстроты действия" часто используется термин "скорость откачки" и символ "S".

3.4 предельное остаточное давление (ultimate pressure): Величина, к которой асимптотически стремится давление в измерительной камере.

Примечания

1 Это самое низкое давление, создаваемое насосом.

2 Рекомендуется не указывать значение предельного остаточного давления в инструкции производителя. Поэтому в данном стандарте не указывается методика измерения предельного остаточного давления. Однако если производитель указывает предельное остаточное давление, то также следует указать и рабочие условия, при которых производится измерение.

  3.5 минимальное рабочее давление p     (minimum operational pressure): Давление, получаемое в измерительной камере спустя 48 ч, после ее обезгаживания.

  3.6 степень сжатия K     (compression ratio): Отношение давления на выпускном фланце p     к давлению на впускном фланце p     турбомолекулярного насоса.