Дата введения 1983-01-01
-
Продукты:
Судебная практика
Судебная практика
Отправить по почте
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ В СЛИТКАХ Технические условия ГОСТ 19658-81
Monocrystalline silicon in ingots. Specifications
С изменениями и дополнениями № 1 (ИУС 11-1987), 2 (ИУС 8-1992)
Дата введения 1983-01-01
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР
РАЗРАБОТЧИКИ
В.С.Матвеев, канд. техн. наук; А.Г.Галканов; М.Б.Рейфман, канд. хим. наук; Л.И.Власова; Р.И.Генкина; И.П.Кагановский, канд. техн. наук; Л.В.Куликова; Л.В.Лайнер, канд. техн. наук; В.И.Маркова; А.И.Попов; Н.Н.Соловьев, канд. техн. наук; Б.М.Туровский, д-р техн. наук
2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27.02.81 N 1090
3. ВЗАМЕН ГОСТ 19658-74
4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
|
Обозначение НТД, на который дана ссылка |
Номер пункта, приложения |
|
ГОСТ 2.004-88 |
1.1 |
|
ГОСТ 61-75 |
Приложения 7, 8а, 9 |
|
ГОСТ 334-73 |
Приложение 8 |
|
ГОСТ 427-75 |
Приложение 1 |
|
ГОСТ 701-89 |
Приложения 4, 8, 8а, 9 |
|
ГОСТ 1367.0-83 |
Приложение 9 |
|
ГОСТ 1770-74 |
Приложение 9 |
|
ГОСТ 2263-79 |
Приложение 6 |
|
ГОСТ 2548-77 |
Приложения 1, 4, 9 |
|
ГОСТ 2567-89 |
Приложения 4, 9 |
|
ГОСТ 2789-73 |
Приложение 3 |
|
ГОСТ 2874-82 |
Приложения 8, 9 |
|
ГОСТ 3647-80 |
Приложения 3, 6, 7, 8, 8а |
|
ГОСТ 3776-78 |
Приложения 4, 9 |
|
ГОСТ 4160-74 |
Приложения 7, 8а |
|
ГОСТ 4220-75 |
Приложение 4 |
|
ГОСТ 4461-77 |
Приложения 4, 7, 9 |
|
ГОСТ 5017-74 |
Приложение 8 |
|
ГОСТ 5959-80 |
4.5 |
|
ГОСТ 5962-67 |
Приложения 3, 8 |
|
ГОСТ 9206-80 |
Приложения 3, 4, 6, 7, 8, 8а, 9 |
|
ГОСТ 9285-78 |
Приложение 6 |
|
ГОСТ 9412-93 |
Приложения 3, 8 |
|
ГОСТ 9696-82 |
Приложения 5, 7, 8а |
|
ГОСТ 10197-70 |
Приложение 5 |
|
ГОСТ 10354-82 |
4.1 |
|
ГОСТ 10484-78 |
Приложения 1, 4, 7, 8а, 9 |
|
ГОСТ 11069-74 |
Приложение 8 |
|
ГОСТ 11078-78 |
Приложение 6 |
|
ГОСТ 11109-90 |
Приложение 5, 8 |
|
ГОСТ 11125-84 |
Приложения 4, 8а, 9 |
|
ГОСТ 12026-76 |
Приложения 3, 4, 5, 8, 9 |
|
ГОСТ 12997-84 |
Приложения 7, 8а |
|
ГОСТ 14192-96 |
4.6 |
|
ГОСТ 17299-78 |
Приложения 7, 8а |
|
ГОСТ 18270-72 |
Приложение 9 |
|
ГОСТ 18300-87 |
Приложения 3, 7, 8, 8а |
|
ГОСТ 20477-86 |
4.2, 4.3 |
|
ГОСТ 24392-80 |
Приложение 4 |
|
ГОСТ 25593-83 |
Приложения 7, 8а |
|
ГОСТ 26239.1-84 |
3.8б |
|
ГОСТ 29298-92 |
Приложения 3, 7, 8а, 8, 9 |
|
ГОСТ 29329-92 |
Приложения 4, 9 |
|
ТУ 6-09-3401-70 |
Приложение 9 |
|
ТУ 6-09-4015-78 |
Приложения 1, 9 |
|
ТУ 25-10(АМЦ |
Приложение 3 |
|
ТУ 25-10(АМЦ |
Приложение 3 |
5. Ограничение срока действия снято Постановлением Госстандарта от 12.05.92 N 480
6. ИЗДАНИЕ с Изменениями N 1, 2, утвержденными в июле 1987 года, мае 1992 года (ИУС 11-87, 8-92)
Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл - диэлектрик - полупроводник.
(Измененная редакция, Изменение № 2)
1. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Слитки монокристаллического кремния изготовляют в соответствии с требованиями настоящего стандарта дырочного типа электропроводности (Д), легированные бором (Б), и электронного типа электропроводности (Э), легированные фосфором (Ф) или сурьмой (С), бездислокационные (с плотностью дислокаций не более 1·10см
) по технологической документации.
(Измененная редакция, Изменение № 1)
При оформлении документации с применением печатающих и автоматизированных устройств индексы дополнительных требований в наименовании марок необходимо печатать в соответствии с требованиями ГОСТ 2.004 .
Слитки монокристаллического кремния должны соответствовать требованиям, указанным в таблице.
Таблица
|
|
|
|
Удельное электрическое сопротивление (УЭС) |
|
|
||
|
Марка
|
Группа
|
Подгруппа
|
Интервал номи- |
Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, % |
Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу |
Номинальный диаметр слитка,
|
Базовая длина слитка, мм,
|
|
ЭКДБ |
1 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
0,005-20 |
|
|
78,5 |
150 |
|
|
|
в |
|
35 |
10 |
102,5 |
250 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
250 |
|
|
|
д |
0,1-20 |
|
|
152,5 |
250 |
|
|
2 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
0,005-20 |
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
|
25 |
10 |
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
0,1-20 |
|
|
152,5 |
250 |
|
|
3 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
6 |
0,005-20 |
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
|
20 |
10 |
102,5 |
150 |
|
|
|
г |
0,1-20 |
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
0,1-15 |
|
|
152,5 |
250 |
|
|
4 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
0,005-20 |
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
|
15 |
10 |
102,5 |
150 |
|
|
|
г |
0,1-20 |
|
|
127,5 |
150 |
|
|
|
д |
0,1-15 |
|
|
152,5 |
200 |
|
|
5 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
20-40 |
35 |
15 |
78,5 |
150 |
|
|
|
в |
|
|
|
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
250 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
|
|
6 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
20-40 |
25 |
15 |
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
|
|
7 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
20-40 |
20 |
15 |
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
|
|
|
102,5 |
150 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
150 |
|
|
8 |
а |
20-40 |
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
20-40 |
20 |
10 |
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
20-80 |
|
|
102,5 |
150 |
|
|
|
г |
20-40 |
|
|
127,5 |
150 |
|
ЭКЭС |
11 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
0,01-1 |
35 |
20 |
78,5 |
150 |
|
|
|
в |
|
|
|
102,5 |
200 |
|
|
12 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
0,01-1 |
20 |
15 |
78,5 |
100 |
|
ЭКЭФ |
21 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
150 |
|
|
|
в |
0,1-20 |
40 |
20 |
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
|
|
22 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
0,1-20 |
30 |
15 |
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
|
|
23 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
0,1-20 |
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
|
20 |
15 |
102,5 |
150 |
|
|
|
г |
0,1-15 |
|
|
127,5 |
150 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
200 |
|
|
24 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
0,1-20 |
20 |
10 |
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
|
|
|
102,5 |
150 |
|
|
|
г |
0,1-15 |
|
|
127,5 |
150 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
200 |
|
|
25 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
150 |
|
|
|
в |
20-40 |
40 |
20 |
102,5 |
250 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
250 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
|
|
26 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
20-40 |
30 |
15 |
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
Примечания:
1. Слитки с указанной базовой длиной должны составлять не менее 75% общего объема данной марки кремния.
2. Минимальная длина слитков монокристаллического кремния не должна быть менее диаметра слитка.
1.2. Кристаллографическая ориентация плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния - (111) или (100) индекс "м" и (013) индекс "э" для слитков кремния, легированных бором и фосфором, с удельным электрическим сопротивлением 1-15 Ом·см.
(Измененная редакция, Изменение № 1)
1.3. Угол отклонения плоскости торцевого среза монокристаллических слитков кремния от заданной кристаллографической плоскости () не должен превышать 3°.
(Измененная редакция, Изменение № 1)
1.4. Слитки должны быть монокристаллическими и не должны иметь внешних дефектов (сколов, раковин) размером более 3 мм, а также трещин. На торцевых срезах слитков допускаются фаски с линейными размерами не более 3 мм.
(Измененная редакция, Изменение № 1)
1.5. Концентрация атомов оптически активного кислорода должна быть (2-9)·10см
в слитках кремния диаметром менее 150 мм и (2-10)·10
см
в слитках кремния диаметром 150 и 152,5 мм при градуировочном коэффициенте, равном 2,45·10
см
, вместо 3,3·10
см
, указанном в приложении
(Измененная редакция, Изменение № 1)
1.5а. Концентрация атомов оптически активного углерода должна быть не более 1·10см
в слитках кремния диаметром 78,5 мм и более, и не более 3·10
см
в слитках кремния диаметром 62,5 мм.
(Измененная редакция, Изменение № 1)
1.5б. Концентрация атомов каждой из микропримесей железа, золота и меди в слитках монокристаллического кремния должна быть не более 1·10см
.
(Измененная редакция, Изменение № 1)
1.6. Слитки кремния с удельным электрическим сопротивлением более 3,0 Ом·см должны иметь время жизни неосновных носителей заряда: для электронной электропроводности не менее 7,5 мкс, для дырочной электропроводности не менее 2,5 мкс.
По требованию потребителя изготовляют слитки кремния, легированные бором или фосфором, с временем жизни неравновесных носителей заряда (н. н. з.), не менее:
(2-30 мкс) - для слитков с удельным электрическим сопротивлением 1-15 Ом·см (индекс "е");
(16-60 мкс) - для слитков диаметром не менее 100 мм с удельным электрическим сопротивлением 4-15 Ом·см (индекс "р");
(30-160 мкс) - для слитков диаметром не менее 100 мм с удельным электрическим сопротивлением 15-80 Ом·см (индекс "е").
(Измененная редакция, Изменение № 1)
1.7. Допускаемое предельное отклонение диаметра слитков кремния от номинального не должно превышать плюс 3 - минус 2 мм.
1.8. Допускается обработка боковой поверхности слитков монокристаллического кремния при их доведении до заданного диаметра. Допускаются слитки кремния с протравленными торцами.
(Измененная редакция, Изменение № 1) (Измененная редакция, Изменение № 2)
1.9. По требованию потребителя слитки кремния могут быть изготовлены с номинальными диаметрами 60, 76, 100, 125, 150 мм с допускаемыми отклонениями ±0,5 мм (индекс "").
(Измененная редакция, Изменение № 1)
По согласованию изготовителя с потребителем слитки кремния могут быть изготовлены с номинальными диаметрами 60, 76, 100, 125, 150 мм с допускаемыми отклонениями ±0,1 мм (индекс "").
1.10. По требованию потребителя слитки кремния, легированного фосфором или бором, с удельным электрическим сопротивлением 0,3 Ом·см и более должны быть изготовлены без свирлевых дефектов (индекс "") - для слитков с ориентацией (100) и (013) и (индекс "
") - для слитков с ориентацией (111).
(Измененная редакция, Изменение № 1)
Плотность микродефектов, выявляемых травлением, не должна быть более 2·10см
для слитков с ориентацией (100) и (013) индекс "
" и не более 3·10
см
- для слитков с ориентацией (111) (индекс "
"
1.11. Кристаллографическая ориентация плоскости торцевого среза, угол отклонения плоскости торцевого среза от заданной кристаллографической плоскости, отсутствие внешних дефектов, концентрация оптически активных атомов кислорода и углерода, концентрация атомов микропримесей железа, золота и меди, плотность дислокаций, время жизни неравновесных носителей заряда (для слитков без индексов "е" и "р") и отсутствие свирлевых дефектов для слитков с индексами "и
" обеспечивается технологией изготовления.
(Измененная редакция, Изменение № 1)
Условное обозначение слитков монокристаллического кремния должно содержать: марку кремния, номинальное значение удельного электрического сопротивления, группу, подгруппу по диаметру слитка, кристаллографическую ориентацию плоскости торцевого среза монокристаллического слитка, индексы и обозначение настоящего стандарта. Отсутствие индекса "м" или "э" означает кристаллографическую ориентацию плоскости торцевого среза слитка (111).
Примеры условного обозначения:
Кремний марки ЭКДБ с номинальным значением удельного электрического сопротивления 2 Ом·см, группы 1, подгруппы а, калиброванные с допуском 0,5 мм, с кристаллографической ориентацией плоскости торцевого среза монокристаллического слитка (111)
ЭКДБ-2-1 акГОСТ 19658-81
Кремний марки ЭКЭФ с номинальным значением удельного электрического сопротивления 10 Ом·см, группы 6, подгруппы б, калиброванный с допуском 0,1 мм с кристаллографической ориентацией плоскости торцевого среза монокристаллического слитка (100), без свирлевых дефектов
ЭКЭФ-20-6 бкмс
ГОСТ 19658-81 .
1.12. Коды ОКП приведены в приложении 1а.
(Введен дополнительно, Изменение № 1)
2. ПРАВИЛА ПРИЕМКИ
(Измененная редакция, Изменение № 1)
2.1. Каждый слиток кремния подвергают контролю, определяя тип электропроводности, удельное электрическое сопротивление, диаметр, длину и массу.
.778.019)-84
.778.020)-84
